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一体化半导体参数测试系统 – FS-Pro

产品简介

FS-Pro系列是业界唯一的人工智能驱动的一体化半导体参数测试系统,单台设备具备IV, CV 与 1/f noise 测试能力,内建的AI算法加速技术全面提升测试效率。业界低频噪声测试黄金系统9812DX和 FS-Pro 的融合使两个产品不但功能更加完整,性能也都有大幅提升。 FS-Pro可广泛应用于半导体典型器件、LED材料、二维器件、金属材料、新型先进材料与器件测试。FS-Pro可支持达上百个通道。内置测量软件提供数百个预定义的测试模板和功能,实现即插即用体验。
基于在产线测试与科研应用方面的优异表现,FS-Pro不仅被多家全球领先的设计公司和半导体代工厂,IDM和设计公司采用,在学术界也受到广泛认可,已被数十所大学及研究机构所采用。

产品优势

一体化: 业界首个集成IV测试、CV测试、低频噪音(1/f noise)于单台仪器中,无需换线和更新连接即可完成全部低频参数化表征。
超快速:FS-Pro系列较传统半导体参数测试系统,其测试速度高达10倍,业界首创AI测试加速卡,体验强大速度提升,同时保持测试精度。
模块化架构:PXI模块化架构,可轻松扩展支持生产测试(如 WAT),辅以其高速和完整特性,可以大幅加速量产测试。
操作便捷:内置测量控制软件LabExpress™,拥有直观的用户图形界面,仅需点击几下鼠标就可以完成强大的器件特性分析功能。可选工业级测试软件FastLab, 支持自动探针台,第三方仪器和SRAM,可靠性测试等工业测试需求。
宽量程:高达200V,1A(脉冲3A),0.1fA的灵敏度。
建模仿真:可选内置器件建模与仿真软件(BSIMProPlus/MeQLab/NanoSpice),形成测试,建模仿真系统。
作为9812DX的增强选件:作为内建SMU模块无缝适配9812DX和NoiseProPlus软件,其更低的SMU噪声和更快的DC测试速度显著加速了9812DX的测试速度

产品应用

可应用于半导体典型器件、LED材料、二维器件、金属材料、新型先进材料与器件测试。FS-Pro可支持达上百个通道。内置测量软件提供数百个预定义的测试模板和功能,实现即插即用体验。
IV电流电压测试。
CV电容电压测试。
1/f noise低频噪音测试。
Pulse脉冲生成。

技术指标

IV电流电压测试
高精度参数测量 ,最大电压200V, 分辨率0.1fA,电流测量精度30fA,最大直流电流1A,脉冲电流3A。
CV电容电压测试
内建CV频率范围10Hz~10kHz,最小可测电容20fF,直流偏置电压200V。外置LCR提供高精度(10fF@2MHz,内建直流偏置40V)和高带宽(8MHz)两个选项,同时软件支持第三方工业主流LCR,如E4980A,428x系列等。
1/f noise低频噪音测试
带宽:0.001Hz-100KHz
噪音分辨率: 2e-28A2/Hz
测量速度: <10秒钟/偏置(f>0.5Hz)
DUT最小阻抗:500欧姆
DUT最大直流偏置和电流:200V, 1A
Pulse脉冲生成功能
电压范围±200V, 最小脉宽50us,最小分辨率100nV

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