高端集成电路设计

电路设计与工艺开发接口

先进半导体工艺开发

低频噪声测试系统 – 9812DX

产品简介

作为业界"黄金标准"测试系统9812B和9812D的改进版本,9812DX为先进半导体工艺开发、器件建模和高端电路设计提供了最快速和最完整的低频噪声测试和分析解决方案,面对先进工艺节点下噪声测试数量"爆炸式"增长的挑战,可以满足各种不同工艺平台下半导体器件和集成电路低频噪声测试的需求。

概伦电子的噪声测试系统9812B,自上世纪九十年代推出至今,已被全球一百多家领先的半导体工艺和研究机构所采用,被公认为业界的"黄金标准"。其于2013年推出的换代产品9812D也已被全球所有领先的半导体代工厂、顶尖的IDM公司和无晶圆集成电路设计公司作为标准噪声测试系统所采用,应用于所有先进工艺节点的技术开发和集成电路设计,包括16纳米、14纳米到10纳米和7纳米等。

与9812D相比,9812DX的系统精度提高了超过十倍,提供了业界最高的晶圆级噪声测试精度和带宽,用户可以在0.03Hz-10MHz的频率范围内用9812DX来测量超低电流如0.1nA以下的低频噪声,从而满足集成电路设计中器件偏置在弱反型/亚阈区或光电二极管和图像传感器暗电流的噪声测量要求。

通过硬件系统架构和软件算法的提升,9812DX的噪声测试速度比9812D提升了3-10倍以上,可以创纪录地在10秒内完成单一偏置条件的测试,从而帮助用户在最短的时间内获得精确的测试数据,满足先进工艺开发中的工艺质量监控、工艺的随机变化分析和高端集成电路设计中大量噪声数据测试的需求。

9812DX是市面上以单一系统支持最为完整的工艺和器件类型的高精度噪声测试系统,可以支持高达200V的器件偏置和最为全面的测试条件和待测器件种类,如体硅MOSFET、FinFET、FD-SOI、LDMOS、BJT、各种电阻(阻值范围在10到10M欧姆之间的电阻和压控电阻)、二极管(如光电、激光和齐纳二极管)、传感器以及封装集成电路等。

产品优势

被所有最领先的半导体代工厂、最顶尖的IDM和Fabless所采用的标准噪声测试系统
体系架构经一百多家客户十多年验证并确保其可靠性和测试精度
内置多个电流/电压放大器,可支持最完整的器件类型并提供最高的噪声测试分辨率
支持最宽电压和最宽电流范围下的高精度硅片级噪声测试
全新的软硬件体系架构提供高精度下最高的噪声测试速度
支持所有先进的工艺节点如16/14和10/7纳米等

产品应用

先进半导体工艺质量监控和器件开发
器件噪声特性测试和SPICE模型库开发
用于高端集成电路设计的工艺/器件特性评估

技术指标

内置多个电流/电压放大器
电压放大器
–带宽:<0.03Hz-10MHz,最小输入参考噪声:0.67nV/(@5KHz)
电流放大器
–带宽:<0.03Hz-1MHz,最小输入参考噪声:0.7pA/(@5KHz)
特殊定制放大器(可选) 
–高精度电流放大器
–宽带宽电流放大器
系统噪声电流分辨率:<1×10-27A2/Hz
可选输入电阻(17种)/负载电阻(15种)
可编程待测器件(DUT)偏置滤波器
终端最大电压和电流: 200V, 200mA
最小测试电流:0.1nA 待测器件阻抗匹配范围:10-10M Ω
待测器件种类:体硅MOSFET、FinFET、FD-SOI、LDMOS、BJT、各种电阻、二极管(如光电、激光和齐纳二极管)、传感器以及封装集成电路等 待测器件ESD保护
RTN测试最大样本点:960K
内置16位模数转换器(ADC)和动态信号分析仪(DSA) 内置 GPIB 卡
  自适应电源: 100-240V, 47-63Hz, 60VA Max

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